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Lumina AT2薄膜缺陷檢測儀實現亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。在2分鐘內掃描并顯示300毫米晶圓。動態補償表面翹曲。可以標刻出缺陷的位置，以便進一步分析。可容納高達450 x 450 mm的非圓形和易碎基板。能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

型號：AT2

更新日期：2024-06-28

￥59

Lumina AT1薄膜缺陷檢測儀實現亞納米薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應力點和其他缺陷的全表面掃描和成像。實用于透明、硅、化合物半導體和金屬基底。在3分鐘內掃描并顯示150毫米晶圓。可以標刻出缺陷的位置，以便進一步分析。 可容納高達300 x 300 mm的非圓形和易碎基板。 能夠通過一次掃描分離透明基板上的頂部/底部特征。

型號：AT1

更新日期：2024-06-28

￥59